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氣體質(zhì)量流量控制器 型號:KM12-CS50

氣體質(zhì)量流量控制器 型號:KM12-CS50

簡要描述:
氣體質(zhì)量流量控制器 型號:KM12-CS50

流量規(guī)格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號

產(chǎn)品時間:2021-12-28

訪問量:2750

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

氣體質(zhì)量流量控制器 型號:KM12-CS50  

產(chǎn)品特點
安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器( AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計算機使用。
流量規(guī)格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規(guī)格1:(N2)產(chǎn)品特點
本產(chǎn)品具有穩(wěn)定、響應時間短、標定精度和重復精度高等優(yōu)點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器( AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計算機使用。
氣體質(zhì)量流量控制器 型號:KM12-CS50  

流量規(guī)格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規(guī)格:0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
調(diào)節(jié)閥類型:常閉型
量程比:2-99.999%FS或者50:1
流量分辨率:0.1%FS
準確度:1%FS 小于15SLM
        2%FS 大于15SLM
線性:0.5%FS 小于15SLM
      2%FS 大于15SLM
重復精度:0.2%FS
相應時間:小于2S
工作壓差范圍:0.1-0.5MPA 小于10SLM
             0.1-0.3MPA 大于10SLM
大耐壓:3MPA
工作環(huán)境:5-45度
電纜接頭:DB15pin(針形)
輸入輸出信號:0-5V(輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA)
供電電源要求:+15VDC 80MA  -15VDC  2000MA

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